| 产品规格 |
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等级
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纯度90%
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杂质含量1x10-6(v/v)
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铁离子含量
1x10-6(w/w) |
应用领域
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THC
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H2O
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O2+Ar
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N2
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CO
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CO2
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5.0N
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99.999
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1.0
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1.0
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1.0
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2.0
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2.0
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2.0
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0.5
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单晶硅片气相抛光、外延，基座腐蚀。
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4.8N
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99.998
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2.0
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2.0
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2.0
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5.0
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2.0
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2.0
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0.5
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硬质合金刀具、玻璃镀膜、多晶硅制造、PS版制造等。
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3.0N
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99.9
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900
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5.0
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10
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85
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10
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20
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未检
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精细化工、医药工业。
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2.8N
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99.8
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1900
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5.0
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10
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85
|
10
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20
|
未检
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| 使用要求 |
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1、 使用时把瓶阀排气咀与生产装置紧密连接，严禁气体泄漏。 2、 使用环境温度在-20℃至40℃之间。 3、 避免日光暴晒，与明火距离不小于10米。 4、 瓶内气体不得用尽，应保留不少于0.5MPa的压力。 5、 对于间歇使用系统，应首先用高纯氮气置换系统空气，然后通氯化氢进入使用系统并排除氮气后，系统才能进行正常生产。生产完后，再用高纯氮气置换系统中的氯化氢，防止系统腐蚀。氯化氢使用完后要及时关闭瓶阀，把气瓶从系统卸下，擦净瓶阀各部，上紧瓶咀保护帽。 6、 使用自备钢瓶，必须经本公司改换瓶阀，进行钢瓶处理，用户不得自行更换瓶阀。瓶阀损坏，应请本公司更换修理。 7、 氯化氢专用钢瓶，严禁改装其它气体。 8、 钢瓶瓶身和瓶阀严禁油脂污染。 9、 使用过程中气瓶排气速度较快时，钢瓶和管路结霜是正常现象，严禁用热水浇化；为避免钢瓶和管路结霜，用气量流速大于2m3/h时，需用专用供气装置。本公司可提供专用供气装置。 10、 对钢瓶的安全可靠性有怀疑时，应立即检验。钢瓶安全检验期为2年，超过安全检验期的钢瓶不得使用。 11、 钢瓶一般使用一年后，应请本公司帮助倒空瓶内残液，更换阀体内件。 12、 组织工人和有关管理人员学习《氯化氢安全技术说明书》，熟悉掌握使用氯化氢气体可能发生的事故危害及其急救、抢险措施，以及其他知识和信息。 |
