氯化氢气体以外的特殊气体是什么？
   （1）易燃气体将自燃、易燃和可燃气体定义为此类气体。例如，正常温度下的SiH4气体只能通过与空气接触燃烧。当环境温度达到一表时，PH3和B2 H6等气体也会自燃。所有可燃气体都有一定的点火、焚烧和爆破规模，即上限和下限。规模越大，气体爆炸和焚烧的风险越高。例如，B 2h6的爆破上限为98%，爆破下限为0.9%。可燃气体包括H2、NH3、PH3、DCS和clf3
   （2）有毒气体：半导体制造业中使用的许多气体对人体有害。同时，AsH3、B2H6、PH3等气体具有剧毒性，其阈值限制值TLV（阈值限制阀）仅为50×10-9100×10-9300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度非常小，因此在储存、运输和使用过程中需要特别小心。一般来说，应采取特定的技术措施来操作和使用这些气体。No、C4F6、C5F8、NF3、CH3F等被归类为有毒气体
   （3）腐蚀性气体：这些腐蚀性气体通常一起具有很强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下通常不易腐蚀金属，但在水环境中表现出强腐蚀性，如HCl、HF、PCl3、SiF4、clf3、wf6等。
   （4）惰性气体：Sui气体本身通常不会对人体造成直接伤害。在天然气输送过程中，与安全相关的需求并不像上述其他气体那样严重。然而，惰性气体具有窒息的特性。如果密闭空间发生泄漏，人员将窒息并形成工业事故。这类气体包括C2、F6、CF4、SF6、CHF3等。
   （5）氧化性气体：这些气体具有很强的氧化性，通常同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性。这类气体包括clf3、Cl2、NF3等。